技术编号:3435321
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于一种氟气与硫磺气液反应生成六氟化硫的反应装 置,具体涉及一种制备六氟化硫的装置。技术背景六氟化硫广泛应用于半导体工业、各种高压电器和电子设备中的绝缘介质。六氟化硫的制备方法有多种,但用于工业化生产的基本上只有 元素氟与单质硫反应的方法。现有技术的制备六氟化硫的反应装置形式有多种,目前大多数厂家采用典型的反应装置。如图1所示,现有技术的制备六氟化硫的反应装置包括熔硫器1,在熔硫器1的内部设置有液体挡板6和气体挡板10,在熔硫器1的一 端、液体挡...
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