技术编号:3435646
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及新型多晶硅、其生产方法及生产装置。详细地讲,涉及质轻、破碎时所产生的微细粒子量极少的带气泡多晶硅及其稳定地进行生产的方法,以及适合于该多晶硅的生产、可高速且长期稳定连续地生产多晶硅、在工业上极有用的多晶硅的生产装置。背景技术 众知,过去作为半导体或太阳光发电用电池的原料使用的多晶硅的生产方法有很多种,其中有几种已在工业上实施。例如,其一种是称之为西门子的方法,是在钟形炉内配置利用通电加热到硅的析出温度的硅棒,在炉内使三氯硅烷(SiHCl3,以下称...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。