技术编号:3436471
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及精馏分离提纯,特别涉及一种高精密精馏提纯三氯氢硅的分离装置 和方法。背景技术三氯氢硅又称三氯硅烷、硅氯仿,英文名称trichlorosilane或silicochloroform, 分子式为SiHC13,用于有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅垸的合成,是有机硅烷偶 联剂中最基本的单体,也是生产半导体硅、单晶硅的原料。三氯氢硅是合成有机硅的重要中间体,也是制造多晶硅的主要原料。随着有机硅产业的 迅速发展,对三氯氢硅的需求量很大,但是受国外技术封...
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