技术编号:3437123
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种减少組合物I中含硼化合物的含量的方法,所述组合物I包含至少一种硅卤化物,尤其是n等于0、 1、 2或3的HnSiCl4.n 型的氯化甲硅烷,该方法通过在第一步骤中将少量水分引入组合物I中 和在第二步骤中分开水解的含硼和/或硅的化合物而实现,从而得到硼含量减少的预纯化的组合物II,尤其是第一和第二步骤可以在至少一个 或多个循环中运行。还要求保护一种实施所迷方法的装置以及其中集 成有该装置的总装置。背景技术自代硅烷,特别是氯硅烷,如单氯甲硅烷,二...
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