技术编号:3438269
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于一种粉料燃烧装置,主要用于非金属矿物粉料,特别是球 形硅微粉颗粒的制备。 背景技术电子信息产业的快速发展,带动了集成电路市场规模不断扩大,硅微粉作 为集成电路封装用的环氧塑封料的填充材料也随之显示出广阔的发展前景,但 对硅微粉的质量要求也越来越高,除了要求超细、高纯度、低放射性元素含量 外,还特别对其颗粒形状提出了球形化要求。球形硅微粉作为环氧模塑料的填 料,与角形硅微粉相比较能够显著提高填充率和流动性,球形硅微粉取代角形 硅微粉已经成为现实...
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