技术编号:3438278
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及绝缘电极,确切地说是多晶硅还原炉高压启动绝缘电极。背景技术目前,国内外多晶硅还原炉硅芯击穿启动,主要依靠电辐射加热器加热来降低硅芯电阻率后满足低电压启动要求;使得启动过程时间较长,很 大程度上影响了生产效率,由此采用高压启动方式加快启动时间成为新工 艺的重点所向,用高电压产生强电场在很短时间就能改变硅芯导电特性, 使其内阻降低、导通电流迅速上升,从而使硅料内部的温度很快上升,大 大縮短了启动时间,提高了加工效率,从而降低能耗和提高产品质量。由...
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