技术编号:3438311
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种加热器,具体涉及一种吸附柱内部的加热器。背景技术在多晶硅装置尾气回收系统中吸附柱是极其关键的设备,用来吸收氢气中的残留 的HC1和氯硅烷,从而得到高纯度的氢气。吸附柱内的吸附剂吸附工作周期为8小时左右, 通过加热再生后循环使用。通常的加热装置是在设备内设置内部热水加热盘管,但因为振 动、疲劳及热膨胀等原因,常常造成盘管损坏、设备失效,并使盘管内的水与设备内的氯硅 烷、HC1、氢气介质接触,形成强烈的腐蚀环境并产生爆炸危险。实用新型内容本实...
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