技术编号：3439094
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及精馏，特别是涉及三氯氢硅三塔差压耦合节能精馏提纯系统及操作方法。 背景技术三氯氢硅又称三氯硅烷、硅氯仿，英文名称trichlorosilane或silicochloroform，分子式为SiHCl3，用于有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅烷的合成，是有机硅烷偶联剂中最基本的单体，也是生产半导体硅、单晶硅的原料。 三氯氢硅是合成有机硅的重要中间体，也是制造多晶硅的主要原料。随着多晶硅和有机硅产业的迅速发展，对三氯氢硅的需求量很大，但是受国外技术...
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