技术编号:3439255
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体及太阳能领域的一种硅芯及其制备方法,特别是一种用于生长多晶 硅棒的硅芯及其制备方法。技术背景由于硅材料的独特性质,成为现代电子工业和信息社会的基础。硅材料按纯度划分, 可分为金属硅和半导体(电子级)硅;按结构形态划分,可分为非晶硅、多晶硅和单晶硅。 其中多晶硅又分为高纯多晶硅、薄膜多晶硅、带状多晶硅和铸造多晶硅,单晶硅分为区熔 单晶硅和直拉单晶硅;多晶硅和单晶硅又可以统称为晶体硅。金属硅是低纯度硅,是高纯 多晶硅的原料;高纯多晶硅则是铸造多...
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