技术编号:3439470
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种废液回收处理方法及碳化硅漂洗装置,更具体说是一种硅晶切割 废液中回收聚乙二醇及碳化硅的方法及该方法中碳化硅漂洗装置。背景技术在硅片多线切割过程中,切割液作用主要是分散、悬浮、润滑、冷却、提高切割效 率、降低切割消耗等。现有的硅片切割液主要成分是聚乙二醇和碳化硅,因此在硅片切割产 生的切割废液中主要成分是聚乙二醇和碳化硅,同时还包括少量的硅屑(一般为2 5% ) 和微量的金属铁。现有对硅晶切割废液中聚乙二醇和碳化硅的回收往往存在回收率不高, 回...
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