技术编号:3439659
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种以纯度极高的氧为原料气体,生产不含有氮氧化物(NOx)的纯净、高浓度臭氧气体的臭氧发生装置。背景技术在1. Omm左右或以上的放电空隙长度中工作的过去的无声放电式臭氧发生装置, 正如专利文献1和专利文献2中示出的那样,放电空间里的放电是由很多流光状微小放电 柱构成的。在这种情况下,只要增加放电柱的发生部位就能够促进电子与氧分子的碰撞,提 高臭氧的发生效率。在专利文献1中指出,为了增加放电柱的发生部位,将电介体的表面电 阻(表面电阻率)控制在1...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。