技术编号:3439697
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种烷类化工产品-高纯乙硼烷制备方法的工艺技术,特别是一种连 续精馏方式制备高纯乙硼烷方法的工艺技术,适合于化工合成乙硼烷。背景技术目前,目前,微电子技术是现代信息技术和军事技术的主要基石,是推动科技进 步、产业发展、经济腾飞和社会前进的关键因素之一。集成电路是微电子技术的核心,其发 展水平和产业规模已成为衡量一个国家经济实力的重要标志。电子特种气体(如乙硼烷), 尤其是高纯电子气体作为电子化工材料这一新门类,是制约集成电路可靠性和成品率的重 要...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。