技术编号:3440309
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种生产多晶硅的方法,更具体地说是一种以四氟化硅和氢气为原料 生产多晶硅或多晶硅片的方法。背景技术众所周知,作为半导体或太阳能发电电池的原料使用的多晶硅的生产方法有很多 种,其中有几种已经在工业上实施。例如,申请号为200710121059《生产多晶硅的方法》的专利申请,公开了一种方法以工业硅和氯化氢为原料,反应生成三氯氢硅;将所述三氯氢硅经提纯后与氢气反应,从而 还原生成多晶硅;收集生成三氯氢硅、提纯三氯氢硅和生成多晶硅过程产生的尾气,进行处 ...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。