技术编号:3440889
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,属于气体分离领域。背景技术在多晶硅生产中,由于三氯氢硅合成工序、三氯氢硅还原反应工序以及四氯化硅氢化工序的化学反应不完全,会产生大量未反应完全的尾气,尾气包含氯硅烷混合物、氯化氢和氢气。尾气直接排放不仅污染环境,还不利于节约成本,因此,需要对尾气回收利用。尾气回收利用是将尾气中的各组份分离提纯重复利用。其中,氯化氢送至三氯氢硅合成工序使用,氯化氢的质量要求为HC1 > 95 % (体积比,下同),氢气《5 % 。 传统的回收氯化氢的方法(...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。