技术编号：3441035
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种氢化炉，特别是一种属于太阳能光伏能源技术的多晶硅氢化炉。 背景技术随着国内外电子信息产业和光伏能源产业的飞速发展，多晶硅产品市场一直方兴 未艾。多晶硅氢化炉作为工艺尾气处理装置，其工艺条件非常苛刻，反应后尾气温度高到 1000°C以上，对尾气管道的安全性和材料的选择提出了很高的要求。业界一般采用下述方 法处理在尾气管道外设置长距离冷却水夹套，使用冷却水将尾气管道中的高温尾气冷却 至三百度左右，冷却后的尾气再按常规方法进行处理。此种处理方法的缺...
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