技术编号:3441651
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于多晶硅反应器的化学气相沉积(CVD)中气体分配的新方法。特别 地,本发明涉及用于经由气态硅烷前体的分解生产多晶硅块体材料(chunk material)的沿 块棒长度的气体分配排气口设计和布置。背景技术经由气态前体化合物在细棒基底上的分解生产多晶硅块体材料是常被称作“西门 子法(Siemens process) ”的公知的、广泛使用的方法。西门子法是组合的分解/沉积过 程,包括(1)被合适的包围体覆盖的加热的棒或多个棒(适当的基底),以允许高...
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