技术编号：3441983
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体高纯气体的供应系统，尤其涉及气体调压纯化装置及工艺 气体管路吹扫保压测试装置。背景技术在半导体生产工艺中需要大量的使用高纯工艺气体，如氯气，磷烷，氯化氢等 四十余种高纯气体。随着半导体生产规模的不断扩大，需要安装大量的工艺气体管路。安装 工艺气体管路的步骤为首先按现场尺寸进行下料，即分段切割，弯曲不锈钢管路；接着 进行氩弧焊接，将不锈钢管路安装连接在气体钢瓶柜，气体分配阀箱和生产设备机台之间； 然后进行气体管路保压测试，这是非常关键的一...
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