技术编号:3441989
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种化工产品的合成制备装置,特别是一种硅烷制备装置,适合 于硅烷的生产制造。背景技术目前,微电子技术是现代信息技术和军事技术的主要基石,是推动科技进步、产业 发展、经济腾飞和社会前进的关键因素之一。集成电路是微电子技术的核心,其发展水平和 产业规模已成为衡量一个国家经济实力的重要标志。电子特种气体(如硅烷),尤其是高纯 电子气体作为电子化工材料这一新门类,是制约集成电路可靠性和成品率的重要因素。随 着电子信息技术的飞速发展,集成度越来越高,对...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。