技术编号:3442280
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种气体净化装置,特别涉及体积小、方便使用的手推式小型的超纯氢净化装置。背景技术电子特气超纯氢,是现代电子集成电路、光纤、纳米等行业,尖端科技上的重要原 料。随着新兴产业和电子科技的发展,应用越来越广。市场上用量大的瓶装高压超纯氢,通常采用二种生产方法一是稀有金属氢化物 吸放法。二是催化氧化吸附后,再用液氮低温下深度吸附除杂法。但这二种工艺流程、操作 使用较复杂,一次性投资大,需一个固定场所,后者还需要氢气压缩机,常用于大规模和超 大规模集成...
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