技术编号:3442828
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种针对惰性气体的气体纯化装置。 背景技术在一些工业领域中,往往需要高纯惰性气体,如氮气、氩气或者两者的混合气。 如光电企业所需要的灯泡氩,所需纯度为微氧=lppm,露点=-70V,总烃< lppm,氢气 ^ lppm。经常规方法(如深冷法)制取的气体一般含有一些活性杂质气体,如氧气、氢气、 水和烃类等。因此需要对制取的气体进行纯化。发明内容本实用新型的目的是提供一种工艺简单、操作简便、可靠性高的气体纯化装置。为达到上述目的,本实用新型...
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