技术编号：3442933
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种通过利用化学气相析出法在竖立地配置在反应容器内的硅芯材上析出多晶硅而获得的多晶硅棒，特别是涉及一种可用于浮动区域硅精炼法(FZ法)或者切克劳斯基单晶生长法(CZ法)的再装填(recharge)的多晶硅棒。背景技术以往，公知有各种制造可用作半导体或者太阳光发电用晶圆原料的硅的方法，其中的几种已经在工业上实施。例如其中之一是被称作西门子(Siemens)法的方法，是指在罩内部的反应室中设置硅芯材，利用通电将硅芯材加热到硅的析出温度，在该状态下向反...
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