技术编号:3442960
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及变压吸附式气体分离方法和分离装置,详细来说,涉及从包含高附加值气体(例如氙气、氪气)的混合气体中分离回收高附加值气体的变压吸附式气体分离方法和分离装置。本申请基于2009年3月30日在日本申请的日本特愿2009-807M号主张优先权, 在此引用其内容。背景技术在制造半导体集成电路、液晶面板、太阳能电池面板和磁盘等半导体产品的工艺中,广泛使用在稀有气体气氛中通过高频放电产生等离子体,由该等离子体进行半导体产品或显示装置的各种处理的装置。作为在这种处...
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