技术编号：3443015
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及。 背景技术冶金级硅是将碳、硅石混合，通过电弧炉还原制造的。该冶金级硅与HCl反应，由此合成三氯硅烷，将其精馏纯化后，使用氢在高温下进行还原，制造半导体级硅。目前，作为太阳能电池用硅的主要原料，使用制造上述半导体级硅时产生的等外品。上述半导体级硅的制造方法中，可以制造极高纯度的硅，但是，三氯硅烷气体转化为硅的转化率低，为了有利地使平衡向硅一侧移动，需要大量的氢；为了进一步提高转化率，必须使大量的未反应气体循环而再使用；由于在上述未反应的三氯硅烷气...
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