技术编号:3443117
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明通常涉及三氟化氮,并且尤其是涉及一种由氨、元素氟和液态氟化氢铵生产三氟化氮的反应器系统和方法。背景技术三氟化氮(NF3)用于高能量的液体和固体推进剂这样的产品中,并且作为氟源用于半导体器件的产品中。三氟化氮可以通过多种方法制备,如在U.S.专利Nos.4,091,081和5,637,285,以及U.S.专利公开No.2002/0127167中所公开的方法,上述的每一个方法在这里一并作为参考。三氟化氮的生产通常来自于一系列如下所描述的反应,即氨和氟气与...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。