技术编号:3443160
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于高纯多晶硅制备,特别涉及一种制备高纯硅粉的方法。技术背景大气微波等离子体炬是指工作在一个大气压下的以微波能为激发源的等离子体, 同其他能量源等离子体相同,其电子温度主要在广20eV之间,电子数密度在1012m_ 3 到1025m 3之间。大气微波等离子体炬装置不仅不需要配置和维护昂贵的真空设备,而且能够应用于连续化加工,使得大规模生产成为可能,因此受到研究人员的广泛重视, 其应用领域主要有废气处理、材料加工和合成、元素光谱分析等[I. A. Ah...
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