技术编号：3443166
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。发明涉及一种化工产品，特别是一种利用共沸精馏或萃取精馏来高效分离四氟化碳/三氟化氮混合物制备高纯四氟化碳的技术，适合于生产四氟化碳。背景技术四氟化碳是不燃烧的无色、无味的高压液化气体。四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，在电子器件表面清洗，太阳能电池的生产，激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态，印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。由于它的化学稳定性，四氟化碳可用于金属冶炼，例如铜、不锈钢，碳钢、铝、蒙乃尔等；还可用...
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