技术编号:3443338
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及多晶硅还原炉技术,特别是一种多晶硅还原炉的节电保温隔热罩。背景技术在多晶硅还原炉中,由于辐射和气体对流传热的双重原因,加热硅棒的电能约有 85%的消耗在炉壁上,由于冷却的炉壁会带走加热硅棒的热量,所以目前很多技术人员都通过高温油冷或者高温水冷的方式来提高炉壁温度来减少加热硅棒的热量损失,但改善的程度有限。也有通过加石英保温钟罩的办法来减少损耗,但由于制作原材料和制作工艺的限制,钟罩的尺寸不能做得很大,只适合用于小型还原炉,并且价格昂贵,易破碎...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。