技术编号:3443593
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于化工设备领域,涉及一种四氯化硅回收利用的装置。 背景技术多晶硅是半导体工业、电子信息产业、太阳能光伏电池产业最基础的功能性材料。 近几年随着太阳能的大规模开发利用,多晶硅的用途越来越广泛,用量也越来越大,我国多晶硅产业呈现出几何级数发展态势。目前我国在建、已建多晶硅规模达9万吨/年,这些装置主要采用改良西门子法技术。其反应原理为三氯氢硅与氢气在高温条件下发生氧化还原反应,生成多晶硅、四氯化硅、氯化氢。采用该技术每生产1吨多晶硅将产生10-20...
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