技术编号:3443603
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。生产电子级磷酸的装置本实用新型属于化工设备,具体来说涉及一种生产磷酸的装置。背景技术电子级磷酸主要广泛应用于超大規模集成电路、大屏幕液晶显示器、半导体等微电子エ业等方面,用作清洗和蚀刻剂,其纯度和洁净度对电子元器件的产品率、电性能、可靠性有很大的影响。目前国内大多数生产电子级磷酸厂家采用的装置是将エ业黄磷提纯制成高纯黄磷,利用精制的高纯黄磷在干净、干燥的空气中燃烧生成气态五氧化ニ磷,再将五氧化ニ磷溶于超纯水中,制取电子级磷酸。该法提纯黄磷使磷的损失较大,成...
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