技术编号:3443686
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种多晶硅的制造装置,特别是涉及一种用三氯氢硅在加热的硅芯棒表面上进行化学气相沉积多晶硅的节能型有隔热屏节能型多晶硅还原炉。背景技术高纯度多晶硅普遍采用西门子法制造的,将含有氯硅烷,如三氯氢硅和氢气的混合气体的原料气体与加热的硅芯棒接触,使原料气体分解和/或被还原,在硅芯棒表面析出多晶娃。采用改良西门子法生成多晶硅通常所采用的还原炉是一种有冷却水的钟罩型炉壁,和设置在钟罩型炉壁下方有冷却水的底盘,在底盘上设置有多对电极和安装在电极上的硅芯棒,...
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