技术编号:3443807
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种含卤化物的硅、其制备方法及其用途本发明涉及一种通过卤代聚硅烷的热分解而得到的硅,具体而言,涉及一种通过 氯代聚硅烷的热分解而得到的硅。WO 2006/12M25A1公开了一种由卤代硅烷制备硅的方法,其中,在第一步中,通过 产生等离子体放电来将卤代硅烷转化成卤代聚硅烷,所述卤代聚硅烷随后在第二步中通过 加热被分解从而形成硅。对卤代聚硅烷的分解而言,优选被加热至400°C至1500°C的温度。 在示例性实施方案中使用了 800°C、700°C、90(rC和...
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