技术编号:3443913
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及多晶硅还原炉技术,特别是还原炉尾气管取异物专用器。背景技术还原炉在生产多晶硅的过程中,特别是在最后将要冷却出炉时,硅棒顶部或外表部分会出现掉落的现象,特别是发生倒棒时,这种掉落现象尤为严重。当硅棒顶部或外表部分出现掉落时,直径小于还原炉尾气管颈的硅块会直接掉落在尾气管内,这时就会导致直接堵塞尾气管线,使生产中还原炉内憋压,尾气无法正常排出,炉内压力异常,因此对正常生产造成很严重的后果。初期对于这种情况采取的处理方法有1、通入氮气从尾气取样管回...
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