技术编号:3444194
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于SiCl4R化系统中的硅粉过滤技术,具体涉及一种硅粉过滤器滤芯结构。技术背景在SiCl4R化系统中,产生以氢气为主的反应混合气往往携带硅粉、催化剂等物质,属于不稳定物质组合(份),容易引起爆炸危险,所以必须对上述以氢气为主的反应混合气进行有效过滤分离,同时过滤后的氢气还可以回收再利用。现有的过滤设备是通过耐高温布袋,例如玻璃纤维,多个耐高温布袋被固定在滤箅上进行对硅粉的过滤。然而,由于现有耐高温布带的网孔比较大,容易吸附硅粉、氢气、催化剂等,...
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