技术编号:3444242
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种MSA还原炉电极的密封装置。 背景技术目前,多晶硅技术,主要采用中高压四氟套对还原炉电极密封和绝缘,隔热陶瓷绝缘环与之配套使用。但是,随着还原炉沉积硅棒的长大,硅棒辐射的热量破坏靠近底盘的大部分四氟套结构,造成一系列不利于生产的后果,主要体现在以下几个方面(1)电极和底盘的气密性低导致物料泄露,需要停炉更换四氟套和重新做炉体气密性检测,降低单炉多晶硅产量。(2)硅芯在高压击穿时容易发生打火拉弧,需要重新更换硅芯和四氟套,避免不安全因素的发...
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