技术编号:3444286
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种高效节能的多晶硅制备装置[0001]本实用新型涉及一种多晶硅制备装置,尤其涉及一种利用自蔓延燃烧原理,在装置内部发生自蔓延燃烧反应,方便分离产物和副产物并可连续生产多晶硅的装置。背景技术[0002]高纯多晶硅是光伏产业和电子工业最重要的生产原料,多晶硅的下游产品单晶硅也已经被广泛应用于半导体工业中。一般来说,太阳能级多晶硅的纯度需达到6个9以上 (99. 9999%以上),电子级多晶硅的纯度需达到9个9以上(99. 9999999%以上)。现今,主流的...
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