技术编号:3444392
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种氢化炉,特别是一种由双炉运行改成单炉运行的氢化炉。 背景技术如图1所示,在西门子法生产多晶硅过程中,有不少单位采用了 MSA的还原炉与氢化炉及其工艺包。由于设计的缺陷,MSA氢化炉每两台炉构成一个区,只能一个区同开同停。 而在实际生产中,经常发生某一台炉发生故障需要停炉,而另一台炉正常运行,也只能跟着一起停下,以便故障炉进行检修。由于氢化炉每天的处理量很大,四氯化硅(简称STC)转化成三氯氢硅,每天创造的经济效益多达13. 5万。为了提高...
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