技术编号:3444393
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种氢化加热器,特别是一种提高四氯化硅氢化转化率的氢化加热器。背景技术如何提高四氯化硅氢化转化率,是多晶硅行业共同面临的技术难题,氢化转化率低是导致多晶硅企业生产成本高和环保压力大的重要原因之一,国内外的多晶硅厂商在探索提高四氯化硅转化率的方法方面做了大量工作。经过长期研究工作和生产实践,氢化炉加热器是提高四氯化硅氢化转化率的关键因素,氢化加热器的材质、尺寸面积和使用寿命一直以来制约着四氯化硅氢化转化率的提高,改进氢化加热器结构形式引起了国内...
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