技术编号:3445276
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用以保护基材的由正四面体非晶碳(Tetrahedral AmorphousCarbon, ta_C)所构成的碳薄膜、表面具备所述碳薄膜的光学元件成形用模具、以及使用所述光学元件成形用模具的光学元件的制造方法。本申请案基于2010年11月9日申请的日本特愿2010-250679号而主张优选权,并在本文引用其内容。背景技术作为保护模具或钻孔器等基材的膜,付诸实际使用有由正四面体非晶碳所构成的碳薄膜(以下,简记为ta-C薄膜)。而且,作为ta-C薄...
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