技术编号:3445304
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的涉及对腐蚀性气体进行生产、压缩和储存的设备和方法,明确地说,涉及通过煅烧氟硅酸钠(SFS)生产四氟化硅(SiF4)的设备和方法。背景技术用以生产高纯度材料,且更明确地说,用以生产例如半导体等无污染的电子级材料的许多化学エ艺均利用高反应性气体。生产此类高纯度气体的ー种方法是煅烧固体前驱物,其中通过将污染物作为前驱物中的固体留下或通过合成前驱物过程中的相偏析来杜绝污染物。用以合成此类材料的气体通常是高度反应性的,因此,除非采取特殊的预防措施来密封用以容...
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