技术编号:3445328
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种改进的多层复合吸气剂、其制造方法和使用该多层复合吸气剂的储存能量的电化学装置。背景技术用于除去气态杂质的吸气剂材料的使用已在许多领域中发现得到应用,诸如用于半导体装置的处理室、处理工艺气体的纯化和抽空室的泵送构件。然而,使用吸气剂材料尤其受到认同的领域之一是从气密或密封装置的内部容积中除去有害物种,其中这些有害物种的存在危害该装置的操作。在此情况下,使该装置的功能性受损的机制基本上为两种类型,第一类是因该有害物种与该装置的一或多个组件相互发生...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。