技术编号:3445665
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及分离方法以及分离装置。背景技术一直以来,作为蚀刻液,已知包含氢氟酸 和氟化铵的制品。此外,从这种蚀刻液、以及用于蚀刻后的蚀刻废液中回收氢氟酸(氟)的技术也已广为人知(例如,参照专利文献I)。专利文献I中记载了如下方法,即,通过使碳酸钙与包含氢氟酸和氟化铵的蚀刻液反应,从而以二氧化硅含有率较少的高纯度氟化钙的形式而回收氟,再由回收的氟化钙再次制造蚀刻液用的氢氟酸。但是,在这种方法中,无法从蚀刻液中直接分离、回收氢氟酸。即,以氟化钙的形式回收后,需要...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。