三氯氢硅合成气的除尘方法技术资料下载

技术编号:3446145

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本发明涉及三氯氢硅合成气的处理方法,特别涉及。背景技术ニ氣氧娃是生广有机娃、娃烧偶联剂和制备多晶娃的重要原材料,随着近两年光伏市场的不断发展,多晶硅产量的不断攀升,三氯氢硅的需求量也急速上升。目前,三氯氢硅的生产方法是硅粉和氯化氢气体在流化床反应炉中进行反应得到三氯氢娃的合成气。所述三氯氢娃合成气的成分非常复杂,主要成分有三氯氢娃、四氯化硅、ニ氯ニ氢硅、氢气和未反应的氯化氢、金属氯化物(如氯化铝、氯化铁、氯化亚铁、氯化钙等),以及氯硅烷发生聚合反应生成的聚...
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