技术编号:3446475
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,更详细地说,涉及使四氟乙烯与氧进行反应得到碳酰氟的方法。背景技术碳酰氟(COF2)作为一直以来用作半导体工业等中所使用的CVD (化学气相蒸镀)装置的清洁气体的、全球暖化系数高的气体的代替物来使用等,其需求逐渐扩大。作为,已知有如下方法(参照专利文献I)。 I、以一氧化碳或二氧化碳为原料的方法2、以碳酰氯为原料的方法3、以三氟甲烷为原料的方法4、以四氟乙烯为原料的方法上述I 3的方法在需要电解槽等高昂的设备、使用的原料的毒性高、原料和反应混合物...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。