技术编号:3446721
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种三氯氢硅合成炉废硅粉回收方法,特别是改变了原有合成炉内废旧硅粉的回收方法,大大节约了劳动力,同时减少了硅粉的浪费,回收后的硅粉还可以继续使用。背景技术目前多晶硅行业中,大多数企业中的三氯氢硅合成炉停车后需将合成炉内的硅粉进行回收,主要是将合成炉椎体进行拆除,将硅粉泄放再处理,此方法容易造成在拆卸时硅粉粉尘较严重,对拆卸人员身体健康产生影响,同时在拆卸时大量硅粉被溅落到地面,造成此硅粉无法使用。专利号为CN101966993A,名称为一种三氯氢...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。