技术编号:3446982
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。氯硅烷精馏过程中氯硅烷废气、废液回收工艺本发明涉及一种氯硅烷精馏提纯系统中含氯硅烷气体的废气、废液回收工艺。它可以最大限度的回收废气、废液中的三氯氢硅和四氯化硅,大幅度降低生产成本,同时大大降低了后续系统对废气、废液处理的难度。二、背景技术传统多晶硅生产采用西门子法,该工艺流程为开路系统,原辅材料单耗指标高、综合回收差、能耗高。目前,国内大多采用西门子改良法制备多晶硅。该方法采用大型还原炉、SiHC13氢化和尾气干法回收工艺,可明显降低能耗和原辅材料的消耗...
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