技术编号:3447831
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及多晶硅生产,特别是涉及一种多晶硅还原炉。背景技术多晶娃还原炉是多晶娃生广中广出最终广品的核心设备,也是决定系统广能、能耗的关键环节。因此,多晶硅还原炉的设计和制造,直接影响到产品的质量、产量和生产成本。随着全球经济危机的影响下,多晶硅的价格持续下降,产业利润不断被压缩,市场竞争日趋激烈。因此,有效地降低多晶硅能耗,提高产品质量,提高生产效率,是目前多晶硅生产企业需要解决的重要问题。目前生产多晶硅主要采用“改良西门子法”,通常将一定配比的三氯氢硅(...
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