技术编号:3447835
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种二氯二氢娃反歧化生产三氯氢娃工艺,尤其是一种多晶娃生产系统中的二氯二氢硅反歧化生产三氯氢硅工艺,属于硅化工。背景技术改良西门子法多晶硅生产过程中,三氯氢硅和氢气在还原炉中进行还原反应生成多晶娃,由于三氯氢娃在炉内的转化率较低,大量未反应的原料三氯氢娃和氢气作为反应尾气排出,为了提高原料的利用率,降低产生成本,这些尾气(主要成分为三氯氢硅气体、四 氯化硅气体和氢气)被送入尾气干法回收系统,将其中的氯硅烷冷凝成液体后和气态的氢气分离,氯硅烷液体再...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。