技术编号:3447880
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于ー种废气再利用的方法,具体涉及ー种LED制造过程中废氨气用氨水吸收法吸收为氨水的方法,达到回收废氨气的目的。背景技术超纯氨是太阳能电池、LED发光二极管、半导体エ业中重要的电子气体。特别是在MOCVD设备上,氨同三甲基镓作用在蓝宝石上通过汽相生长形成氮化镓发光二极管即LED。 LED发光二极管是节能产品,国内外正在大力发展,国家也给予大力支持。到目前为止我国用于制造LED发光二极管的MOCVD炉已达到上千台,每台MOCVD每天使用超纯氨约40 k...
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