技术编号:3448658
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及化学反应,特别涉及一种氢化反应的反应釜。背景技术目前使用改良西门子法生产的多晶硅占全球多晶硅生产总量的80%以上。根据改良西门子法的工艺技术路线,每生产I吨多晶硅将产生约14-20吨的副产物四氯化硅,如何减少还原反应中副产物四氯化硅生成量,和提高副产物四氯化硅转化为多晶硅生产原料三氯氢硅效率,是降低多晶硅生产能耗和成本的关键。四氯化硅是一种高度危险的化学品,不能用普通的方法进行处理。目前工业化的回收利用四氯化硅方法主要是热氢化和冷(氯)氢化。...
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