技术编号:3448682
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种废液回收处理工艺,特别是涉及一种四氯化硅残液的处理装置。背景技术多晶硅是电子工业和光伏产业所需的主要原料,是我国电子信息产业和太阳能光伏产业发展所必需的战略物资。随着多晶硅需求量的急剧增加,四氯化硅作为多晶硅生产中的主要副产物,其安全环保问题也引起了人们的广泛关注。四氯化硅是高毒性物质,极易与水反应生成硅酸和 氯化氢,直接排放对人和环境有极大危害。虽然部分企业已经能够在技术上转化副产物四氯化硅为多晶硅原材料三氯氢硅或做外延产品,但由于技术...
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